参数

型号

FalconScan-20

FalconScan-30

入射光斑

20mm

30mm

跟随误差

0.34ms

0.53ms

重复精度

<1μrad

零位漂移

<15μrad/K无水冷 / <10μrad/K有水冷

增益漂移

<8ppm/K

8小时漂移

<0.03mrad

1%全行程

0.7ms

1.2ms

10%全行程

2.2ms

4.2ms

加工速度

1.5m/s

0.7m/s

定位速度

6m/s

3m/s

小字符速度

High quality 230cps / Good quality 340cps

High quality 130cps / Good quality 200cps

扫描角度

±0.35rad

增益误差

<5mrad

零位误差

<5mrad

定位噪声RMS

<1μrad

非线性度

<0.1%

供电电源

±15V DC，≥5A

通讯接口

XY2-100 Enhanced；JCZ24-100

工作温度

25±10℃

冷却方式

水冷或风冷