切割振镜 G3 Ult 振镜 可用于半导体 极耳切割 3C电子 脆性材料切割 3D打印等
高线性度、低温漂
低噪音、响应时间短
高速、高精度主要配置
标刻速度：5000mm/s
定位速度：16000mm/s
1%全行程：≤0.26ms
10%全行程：≤0.62ms
非线性度：<1mrad/44°
重复精度：<2μrad
增益漂移：<50PPM/k
零位漂移：<25μrad/k
8小时漂移：<0.1mrad
扫描角度：±0.35rad
镜片光斑：10mm
接口协议：XY2-100
供电：±15VDC，5A
重量：2100g
工作温度：25℃±10℃
分辨率：16bit
入射孔径：10mm
波长：10600nm、1064nm、532nm、355nm
典型应用
可用于半导体、极耳切割、3C电子、脆性材料切割、3D打印等。
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